某些物质具有使其能够吸收特定波长的紫外线的性质，并且可以通过照射紫外光并测量透射的光量来获得气体中的浓度。该原理用于臭氧分析设备，也用于TOC（总有机碳），蛋白质，SOx，NOx，氯等，并且可以使用类似的原理进行分析。

为了分析这些物品，通常使用UV汞灯。但是，在尺寸和电压方面存在各种限制。通过在该分析设备中使用深紫外LED，可以实现小型化和低功耗。